원리는 약 1100℃에서 고순도 실리콘 코어에 고순도 수소로 고순도 리클로로실란을 환원시켜 실리콘 코어에 증착된 다결정 실리콘을 생성하는 것입니다 . 전통적인 지멘스 공정을 기반으로 개선된 지멘스 공정은 다량의 H2, HCI, SiCl4 및 기타 부산물과 다량의 부산물의 에너지 절약, 소비 감소, 재활용 및 활용의 지원 프로세스를 갖추고 있습니다 - 생산 열 에너지. 폴리실리콘을 생산하는 공정에서, 폴리실리콘의 단계에서 생성된 실리콘 막대에 H2 환원 화학 수소 실리콘을 사용하는 것이 가장 중요한 단계이며, 폴리실리콘 생산 속도의
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