트리클로로실란 증류 공정 최적화

트리클로로 실란 과 폴리실리콘 생산 시 증류탑 하부에서 재결합 부산물인 트리클로로실란 과 폴리실리콘 의 혼합물을 원료로 사용하여 기상 가수분해 실리카를 제조하였다. 기체화 온도, 수증기 및 클로로실란 혼합물의 유량 및 유량비가 제품의 물리화학적 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 그 결과 최적의 공정조건은 기화온도 155℃, 클로로실란 혼합물의 환기유량 120mL/min, 수증기 대 클로로실란 혼합물의 유량비 4.1인 것으로 나타났다. 생성된 생성물은 DBP 흡수값이 2.49mL/g, 비표면적이 122.49m~2/g, 실리카 함량(건조 염기)이 99.7%, 입자 크기 d50이 10.48μm인 무정형 초미세 실리카 분말입니다.