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실리콘 메탈은 트리클로로실란 합성비의 66%를 차지하기 때문에 트리클로로 실란 가격은
현재 삼염화실란 합성법은 크게 두 가지가 있는데 하나는 전통적인 합성법, 즉 염화규소법이다. 다른 하나는 사염화물의 가수분해입니다.
현재, 폴리실리콘 생산의 주류 방법은 트리클로로실란 을 사용하는 수정된 지멘스 방법입니다.
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