트리클로로실란 환원 공정

트리클로로실란 환원 공정 제어 방법 이 방법은 예비 반응 제어 단계, 안정 반응 제어 단계 및 최종 반응 제어 단계를 포함합니다. 예비 반응 제어 단계에서 SiHCl3의 흐름은 260입방미터/시간 미만으로 제어되고 H2의 흐름은 520입방미터/시간 미만으로 제어되며 전류는 30-1000암페어 사이에서 제어됩니다. 안정적인 반응 제어 단계에서 SiHCl3의 흐름은 175-260입방미터/시간 사이에서 제어되고 H2의 흐름은 385-520입방미터/시간 사이에서 제어되며 전류는 1000-2000암페어 사이에서 제어됩니다. 최종 반응 제어 단계에서 SiHCl3의 흐름은 130-250 입방 미터/시간 사이에서 제어됩니다. H2의 흐름은 360 ~ 520m3/h 사이에서 제어되고 전류는 100 ~ 800amp 사이에서 제어됩니다. 본 발명은 트리클로로실란의 수율을 향상시키고 에너지 소비를 줄여 기업의 생산 비용을 줄입니다.