트리클로로실란의 질량 분율

리클로로실란 의 제조공정 은 대부분 유동층 반응기에서 금등급의 규소 금속 분말과 염화수소 가스를 반응시켜 제조한다 . 일반적으로 금급 금속 규소 분말, 염소와 수소 가스의 연소 반응에 의한 염화수소 가스를 사용합니다. 반응 온도는 300-400도이며 대부분의 압력은 마이크로 양압 작동을 사용합니다. 유동층의 제품 조성은 기본적으로 트리클로로실란(85%~92%), 사염화규소(8%~15%), 그리고 소량의 디클로로디하이드로젠실리콘, 폴리실록산 등의 경질 성분 및 기타 재결합 분획이다. 우리 회사의 설계에 따르면 증류 후 얻은 트리클로로실란의 품질은 99.00%-99.99%이고 부산물인 사염화규소의 품질은 99.00%-99.90%입니다.