삼염화실란으로의 사염화규소 수소화

사염화규소의 고온 수소화는 폴리실리콘의 부산물인 사염화규소를 처리하는 중요한 방법입니다. 고온수소화는 사염화규소와 수소를 원료로 하여 1200~1250℃의 흑연히터로 가열하여 열환원 반응시켜  트리클로로실란을 생성한다 .  

프로세스의 장점은 전체 시스템이 폐쇄 순환이며 지속적이고 안정적인 작동에 적합하다는 것입니다. Trichlorosilane   고순도 제품, 증류 연결이 덜 필요합니다. 단점은 반응이 900~1400℃ 또는 더 높은 온도와 1~35MPa의 고압에서 수행되어야 하며 에너지 소비가 크다는 점입니다. 반응기의 가열 장치는 등압 흑연 벨트이기 때문에 고온 및 고압 조건에서 메탄 및 기타 가스를 형성하기 쉽고 폐쇄 회로 사이클 생산에서 폴리실리콘에 탄소 오염을 가져올 것입니다.