전자 급료 트리클로로실란

전자 등급 트리클로로실란 sihc13은 무색, 가연성, 부식성 액체이며 질식 냄새가 난다. 젖은 공기에서 빠르게 가수분해하여 염화수소를 생성하십시오 : 끓는점 31.9 ':. 녹는점 126.5 c:. 액체 밀도 134ukgi 저항: 공기 "}"에서, 가연성 한계는 B.9% - 7U}'u이다. 인화점 - 28. U}. Ti}v according to HCl) 5x 1U ".

사양

제조방법

준비 방법은 산업 등급의 이염화규소를 원료로 삼아 정류하여 정화하는 것입니다. 이염화 규소는 반도체 칩 및 기타 구성 요소의 제조에서 화학 기상 증착을위한 실리콘 소스로 사용됩니다.